Detalles de la referencia
- Referencia
- EN 62047-12:2011
- Título oficial
- Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 12: Bending fatigue testing method of thin film materials using resonant vibration of MEMS structures
- Organización
- CENELEC
- Estado de publicador en la fuente
- PublicadoEste es el estado registrado en la fuente, no una declaración de que esta es la última edición.
- Acceso a la fuente
- 19 de octubre de 2026
Investigación y solicitud
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Cita legal
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